AURION ANLAGENTECHNIK GMBH

AURION Anlagentechnik GmbH - plasmateknik = plasmasystem + högfrekvenskomponenter. AURION Anlagentechnik GmbH grundades i slutet av 1996 av tre företagare. Tanken bakom detta företag var att tillverka komponenter och fullständiga system för ytbehandling, som är både effektiva, kostnadsreducerande och miljövänliga. AURION utvecklar och bygger komponenter för strömförsörjningen för plasmasystem. Bland produkterna finns impedansanpassningsnätverk med autoinställningsenhet, samt filter, strömställare, fasändrare, effektdelare, ledningar och stiftkontakter. Fokus ligger på området för högfrekvensplasmaprocesser på 13, 56 respektive 27, 12 MHz. Baserat på vår sakkunskap inom komponentkonstruktion kan vi på AURION dessutom erbjuda kompletta system för ytbehandlingar med plasma. Det vill säga både rengöring och modifiering av ytor, samt ytskikts- och etsningsprocesser (PVD, PECVD, RIE, mikrovågor).